一、工作原理
數(shù)顯真空傳感器通過檢測真空環(huán)境中壓力變化，將其轉(zhuǎn)換為可測量的電信號，最終以數(shù)字形式顯示真空度值。其核心原理基于物理效應(yīng)，常見類型包括壓阻式和電容式：
壓阻式傳感器：利用半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng)，在特定晶面上擴(kuò)散形成四個等值電阻，組成惠斯登電橋。當(dāng)壓力變化時，電橋失去平衡，輸出與壓力成正比的電信號，經(jīng)智能芯片非線性修正和溫度補(bǔ)償后，轉(zhuǎn)換為線性標(biāo)準(zhǔn)信號。
電容式傳感器：由上下兩個腔體構(gòu)成，上方為真空腔，下方與外界氣體相通。硅膜片作為敏感元件，在大氣壓力下向上鼓起，鼓起程度隨真空度變化而改變，導(dǎo)致電容兩極板間距變化，電容值隨之改變。通過測量電路將電容值轉(zhuǎn)換為電壓或頻率信號，進(jìn)而推算真空度。
二、信號處理技術(shù)
傳感器輸出的微弱信號需經(jīng)過多級處理才能轉(zhuǎn)換為可讀的數(shù)字信號，關(guān)鍵技術(shù)包括：
信號放大：采用差動比例放大器或電橋放大器，抑制共模干擾，提升信號信噪比。例如，電橋放大器通過電源浮地設(shè)計，消除橋臂電阻對靈敏度的影響。
調(diào)制與解調(diào)：為提高抗干擾能力，信號常被調(diào)制為高頻載波（如調(diào)幅波），傳輸后通過包絡(luò)檢波或相敏檢波恢復(fù)原始信號。
A/D轉(zhuǎn)換：將模擬信號轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號，分辨率（如12位）和轉(zhuǎn)換速度（如毫秒級）直接影響測量精度。
非線性校正：通過軟件算法（如查表法、插值法）補(bǔ)償傳感器特性曲線的非線性，確保輸出與真空度呈線性關(guān)系。
數(shù)顯與輸出：處理后的信號驅(qū)動數(shù)碼管或液晶屏顯示真空度值，同時可輸出標(biāo)準(zhǔn)信號（如4-20mA電流）供控制系統(tǒng)使用。
