數顯真空傳感器通過物理效應與電子技術的深度融合，實現了真空度的實時監測與數字化顯示，其核心技術涵蓋傳感原理、信號處理及選型策略三大維度。
核心傳感原理
數顯真空傳感器基于壓阻式或電容式原理實現壓力感知。壓阻式傳感器利用半導體材料的壓阻效應，在硅膜片表面擴散形成惠斯登電橋，當真空度變化時，膜片形變導致電橋失衡，輸出與壓力成正比的電信號。例如，在半導體制造中，0.1Pa的壓力變化即可被捕捉，確保光刻工藝的精度。電容式傳感器則通過硅膜片與固定電極構成的平行板電容器，真空度變化引起膜片形變，改變電容值，經測量電路轉換為電壓信號。MEMS工藝制造的硅壓阻/電容元件結合溫度補償算法，使傳感器在-100kPa至0（真空）范圍內測量精度達±0.1%FS，重復性優于0.05%FS。
智能信號處理技術
傳感器輸出的微弱信號需經多級處理：采用差動比例放大器抑制共模干擾，提升信噪比；通過A/D轉換將模擬信號轉為數字信號，分辨率可達1Pa；內置16位ADC與MCU實現非線性修正，補償溫度波動引起的誤差。例如，在真空冷凍干燥中，傳感器可實時修正數據，確保冰晶直接升華，避免產品變質。部分型號集成無線模塊（如LoRa），實現遠程監控與數據傳輸，滿足化工園區無人值守需求。
選型關鍵原則
量程與精度：根據應用場景選擇量程，如半導體制造需0.1-10?Pa高精度傳感器，而化工壓力控制可選10³-10?Pa中精度型號。精度需滿足系統需求，避免過度追求高精度導致成本增加。
環境適應性：考慮溫度、介質等因素。例如，-30℃低溫環境下需選擇帶溫度補償的傳感器，確保±0.5%FS的測量精度。
接口與輸出：支持4-20mA電流輸出或RS485通信接口的傳感器便于與PLC、DCS集成；帶數顯功能的型號可現場調試，提升效率。
穩定性與壽命：MEMS工藝傳感器體積小（如27.2mm³）、壽命長，適合空間受限的場景；傳統諧振模式傳感器則適用于對均勻性要求高的鍍膜工藝。
